X行程:100mm
Z1行程:25mm
精度1:±(0.8+0.002L)μm
精度2:±(0.5+0.005H/100)μm
X行程:100mm
Z1量程:40mm
精度1:±(0.6+0.002L)μm
精度2:±(0.3+0.005H)μm
X行程:120mm
Z1行程:50mm
精度1:±(0.7+0.002L)μm
精度2:±(0.4+0.005H/100)μm
X行程:150mm
Z1行程:60mm
精度1:±(0.7+0.002L)μm
精度2:±(0.4+0.005H/100)μm